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장비
장비 및 시설 기본정보
자외선 조사 미세패터닝 장비
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | 마이다스시스템 |
| 모델명 | MDA-600S |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2016-10-10 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 한국과학기술원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C501 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | Substrate 위에 Resist라는 Polymer 물질을 도포한 후 Pattern의 원판 역할을 하는 Mask를 이용하여 빛을 투과시키면 Resist는 광에 반응한다. 이후 현상하여 Resist Pattern을 형성한 후 이 Resist를 Barrier로 Substrate를 Etching하여 최종적으로 원하는 Pattern을 구현하는 장비 |
| 장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201611/20161109154558761.png |
| 장비위치주소 | 한국과학기술원 응용공학동(W1-1) |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2016-11-212809 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-NTIS-0062641 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |