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테이블형 주사전자현미경

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보유기관명	한국에너지기술연구원
보유기관코드
활용범위
활용상태
표준코드	A206
표준분류명
시설장비 설명	본 장비는 테이블형 전자주사현미경으로서 시료의 미세구조를 관찰하기 위한 목적으로 사용된다. - 최대배율 10만배 구현(100x~100,000x) - 고 심도, 고 해상도의 수준높은 영상제공 가능 - Mini-SEM 5축 Stage 구성(Tilt 구현) X,Y(40mm), R(360˚), Tilt(45˚), Z(0~35mm) - Variable Aperture(30,50,100,200㎛) 장착에 따른 Beam Spot Size 조정으로 고 분해능 영상구현 - 자동화된 (Focus, Contrast,Contrast/Brightness, Spot Size, Stigmator) 기능 지원 - 마우스 조작으로 간편하고 다양한 이미지 측정 및 분석 - 폭 넓은 Chamber 구성으로 다양한 시료분석 가능 EDS, BSE, Motorized Stage 등 다양한 확장성
장비이미지코드	http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201612/2016120514717818.JPG
장비위치주소	한국에너지기술연구원 에코빌딩
NFEC 등록번호	NFEC-2016-12-213323
예약방법
카타로그 URL
메뉴얼 URL
원문 URL	http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-NTIS-0062948
첨부파일