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기상반응에피택시

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보유기관명	한국에너지기술연구원
보유기관코드
활용범위
활용상태
표준코드	C507
표준분류명
시설장비 설명	기상반응에피택시는 실리콘 에피택시, 수소열처리, 비정질 실리콘 공정 장비이다. 증착을 위해 실리콘 에피택시 50μm 이상의 두께와 156 mm X 156 mm 크기의 기판을 생산할 수 있다. 두께는 ＜±2.5 % @ 1 μm , 170 mm X 170 mm의 균일도를 이루며 로딩은 1장이 가능하다. 플라즈마 주파수는 13.56 MHz와 27.12 MHz의 두 가지 모드로 구동이 가능하며, 균일한 gas 주입을 위하여 본 장비의 샤워헤드 부분이 2번 이상 gas 확산 공간을 갖는 구조이다. 본 장비는 PC를 이용해서 자동제어 되고 제어 소프트웨어에는 자가진단 기능이 포함되었으며, 공정 소프트웨어를 통해 플라즈마의 forward power, reflected power, matching capaticance (load, tune) 및 self bias (VDC) 값을 모니터링할 수 있다.
장비이미지코드	http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201612/2016120192110919.jpg
장비위치주소	한국에너지기술연구원 자연과학관102동
NFEC 등록번호	NFEC-2016-12-213319
예약방법
카타로그 URL
메뉴얼 URL
원문 URL	http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-NTIS-0062938
첨부파일