| 시설장비 설명 |
전계방사형 주사 전자현미경(FE-SEM)은 일반 광학 현미경으로는 관측이 불가능한 물질의 미세영역을 고분해, 고배율(최대배율 25배에서 100만배까지)로 확대하여 표면구조 및 형태를 확인할 수 있어 과학 분야 전반에 걸쳐서 소재개발과 관련된 연구 및 형태학적 물성연구 그리고, 제품개발과 품질향상을 위해 필수적인 연구 장비로 활용되어 지고 있다. FE-SEM은 전계 방출형 전자총에서 방출된 전자빔을 집속시켜 시료 표면의 관찰영역에 주사시키고, 이 때 시료표면에서 발생되는 여러 가지 신호들을 각기 다른 검출기로 구분하여 검출할 수 있다. 검출기를 통해 확인된 신호는 Digital화된 영상신호로 변환시키고, 액정표시장치를 통해 표현함으로써, 시료의 표면형태 및 조성에 대한 정보를 시각화시켜, 영상으로 출력해 육안으로 확인할 수 있는 장비이다. 또한, 시료의 표면정보 이외에 에너지 분산형 분광분석기(EDS)를 장착하여 시편에서 발생하는 특성 X-선 검출을 검출 할 수 있으며, 특성 X-선확인을 통해 표면정보 뿐 아니라, 시료를 구성하고 있는 원소성분에 대한 확인도 가능하다. |
