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장비 및 시설 기본정보
절연막 두께 측정기
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | Horiba |
| 모델명 | Smart SE |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2016-10-06 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 한국전기연구원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | F0 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | 본 장비는 반도체용 웨이퍼 위에 증착되는 절연막 두께를 측정하는 용도로 사용된다. 특히 절연막 식각공정 진행시 공정 이상 유무를 확인하는 용도로 사용되며 전력반도체 제작공정 중에 사용되는 포토레지스트 산화막 질화막 polyimide 등의 절연막을 형성한 후 그 두께를 비파괴 적으로 측정하기 위해서 사용된다. |
| 장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201611/20161125142318643.jpg |
| 장비위치주소 | 한국전기연구원 17연구동 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2016-11-213092 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-NTIS-0062810 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |