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장비 및 시설 기본정보
전계방출 전자탐침미량분석기
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | Jeol |
| 모델명 | JXA-8530F |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2016-05-31 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 한국생산기술연구원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | A206 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | 본 연구 장비인 전계 방출형 미소 탐침분석기(FE-EPMA)는 전자현미경과 같이 전자총에서 가속된 전자빔이 시편에 조사하여, 시편에서 발생되는 여러 전자 정보 중 특성 X-선의 파장을 검출하여 미세영역에 포함되어 있는 원소들에 대한 정성, 정량 분석을 할 수 있는 표면분석 장치이다. 또한, 원소분석 이외에 이차전자 및 반사전자를 검출하여 Scanning영역에 대한 2차전자 이미지와 후방산란전자 이미지를 통한 관찰기능을 가지고 있다. |
| 장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201606/2016060813177104.png |
| 장비위치주소 | 한국생산기술연구원 연구행정동 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2016-06-210169 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-NTIS-0060154 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |