| 보유기관명 |
한국기초과학지원연구원 |
| 보유기관코드 |
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| 활용범위 |
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| 활용상태 |
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| 표준코드 |
B520 |
| 표준분류명 |
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| 시설장비 설명 |
X선의 고분해를 이용하여 Epttarxy의 Mismatching과 역격자공간의 산란분포강도를 측정 2. 미소영역 측정 (100㎛/500㎛) X-선과 물질의 상호작용 중 회절 및 반사측정을 통해 물질구조 분석 Pre-Fix개념을 갖는 다양한 분해능의 Channel Cut Crystal과 Analyzer Crystal1. Eulerian cradle 2. 4-bounre crystal [Gec(220) Ge(440) Ge(220)ASY] ＆ Analyzer crystal (TAD) 3. Graded muti-layer mirror 4. micro- area(100㎛/500㎛) ▶ Special LFF Cu anode ▶ 4-bounce crystal( Ge(220) Ge(440) Ge(220)-Asy. ) ▶ Analyzer Crystal( 3-bounce Ge(220) ) ▶ Eulerian cradle( 2θ Omega Psi Phi X Y Z) ▶ Micro-area(Mono capillary : 100/500㎛) ▶ X-ray Lens▶ 고분해능 X-선 회절에 의한 반도체 및 산화물 박막에 대한 구조특성 측정 및 해석 ▶ 미소역역의 결정구조 측정(100/500㎛) ▶ Residual stress측정 및 Texture 분석 ▶ X-선 반사를 이용한 박막의 두께 거칠기 및 밀도 측정 - Heteroepitaxial Layer의 rocking Curvereciprocal space mapping - Reflectivity - Texture(Pole tigureODF) - stress |
| 장비이미지코드 |
http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/201402/.thumb/20140213141746668.jpg |
| 장비위치주소 |
대구 북구 산격동 1370 한국기초과학지원연구원 대구센터 경북대학교 공동실험실습관 2층 219 |
| NFEC 등록번호 |
NFEC-2000-08-022948 |
| 예약방법 |
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| 카타로그 URL |
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| 메뉴얼 URL |
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| 원문 URL |
http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0004433 |
| 첨부파일 |
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