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장비
장비 및 시설 기본정보
멀티타겟스퍼터(Ni-Pt-Cu-Co sputter)
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | 한백(HANVAC) |
| 모델명 | Hhvs-450 made by HanVac |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2005-01-01 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 나노종합기술원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C506 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | 고 에너지 입자가 고순도 타겟물질의 고체 판과 충돌하고 물리적으로 원자를 이동하여 기판에 증착시키는 방법으로 캐소드인 타겟의 뒷면에 전자석을 배열하여 자기장을 형성함으로써 금속타겟으로의 아르곤플라스 (Ar+) 이온의 충돌률을 증가시키고 플라즈마에서의 이온화률를 증가시켜 스퍼터링 효율을 높여 주는 방법. |
| 장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201405/20140514155324183.JPG |
| 장비위치주소 | 카이스트 부설 나노종합기술원 나노종합기술원 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2007-11-047928 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-NTIS-0007505 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |