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장비
장비 및 시설 기본정보
컨택 얼라이너
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | Suss Microtec |
| 모델명 | 개발장비 |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2014-06-10 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 한국원자력연구원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C0 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | Contact aligner(Mask aligner)는 반도체형 방사선 이미지 센서를 제작하기 위한 장비로 마이크로 미터 크기의 픽셀 혹은 스트립 패턴을 형성하기 위한 Photolithography 장비임. 과제목적상 화합물 반도체와 같은 높이 10 mm 이상의 조각시편을 고정할 수 있는 substrate chuck을 포함하고 있음. |
| 장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201408/20140806111959720.JPG |
| 장비위치주소 | 첨단방사선연구소 방사선기기연구동 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2014-08-190657 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-kaeri-00079 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |