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장비
장비 및 시설 기본정보
미세피치 금속배선용 Multi-Process 증착 장비
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | 소로나 |
| 모델명 | SRN-120 |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2013-04-10 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 한국기계연구원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C506 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | 본 장비는 반도체, 각종센서, MEMS, 태양전지등을 제작하기 위한 전극을 형성을 위해 박막을 증착하는 Multi-스퍼터링 장비. 본 장비는 8인치 웨이퍼에 균일한 금속 박막을 형성할 수 있음. |
| 장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201409/20140912183930239.jpg |
| 장비위치주소 | 한국기계연구원 연구6동 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2014-09-191416 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-NTIS-0057734 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |