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감광제 도포기

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보유기관명	한국전기연구원
보유기관코드
활용범위
활용상태
표준코드	C502
표준분류명
시설장비 설명	○ 감광제 도포기는 전력반도체 소자의 제작에 있어서 필수적인 사진공정(photo-lithography)을 위하여 감광제(PR; Photoresist)를 균일하고 재현성 있게 도포 가열 현상하는데 사용하는 장비임. - 100A급 소자에서 1000000개 이상의 균일한 unit cell 패턴이 필요(전체 면적＞0.5㎠). - 미세패턴의 구현을 위해 PR track을 이용한 가장자리의 PR 잔류물 제거 (EBR; Edge Bid Removing)가 필수적이며 본 장비는 EBR 기능을 포함하고 있음. - PR 도포용 척의 회전속도 Hot-plate에서의 가열온도 현상의 시간의 균일성 확보 가능 - 고전압 대전류 소자는 외부의 오염물에 의한 영향에 매우 민감하므로 오염물이 제한된 공간에서의 PR 도포 및 현상이 가능함.
장비이미지코드	http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201609/20160920163515630.bmp
장비위치주소	한국전기연구원 전력반도체연구동
NFEC 등록번호	NFEC-2016-09-211920
예약방법
카타로그 URL
메뉴얼 URL
원문 URL	http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-NTIS-0062139
첨부파일