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장비
장비 및 시설 기본정보
나노임프린팅 스태퍼
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | evg |
| 모델명 | EVG510HE |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2016-10-05 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 한국과학기술연구원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C201 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | 마이크로/나노 표면구조 성형을 위한 장비로서, Nano scale patterning을 구현하기 위한 Imprinting Lithography의 한 종류인 Hot embossing(추가적으로 Bonding) 공정을 하기위한 장비 |
| 장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201611/20161101182428651.JPG |
| 장비위치주소 | 한국과학기술연구원 산학연협력연구동(L7) |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2016-11-212644 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-NTIS-0062557 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |