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장비
장비 및 시설 기본정보
전극 및 유전체 제작용 스퍼터장비
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | 삼한박막진공 |
| 모델명 | 모델명 없음 |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2016-11-02 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 한국과학기술연구원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C0 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | 인공시냅스용 저항변화소자 제작을 위한 유전체 및 전극물질 증착을 위한 장비. in situ 챔버 두 개로 구성되어 진공 내에서 연속적으로 복층의 박막을 증착할 수 있으며 수십나노미터 수준의 다층 박막을 증착가능. 유전체와 전극의 우수한 계면특성을 유지할 수 있음 |
| 장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201611/20161121213535207.jpg |
| 장비위치주소 | 한국과학기술연구원 L0 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2016-11-213258 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-NTIS-0062857 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |