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장비
장비 및 시설 기본정보
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장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | Nohmi |
| 모델명 | C-7 |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2005-06-09 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 광주나노기술집적센터 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | F100 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | Halogen/carbon Lamp를 열원으로 상?하부 여러 개의 Lamp를 원형으로 장착하여 glass/wafer 내의 Temperature Uniformity를 조절하며 소자의 물성을 향상 대응 Size : 4 ~ 8 inch wafer/glass |
| 장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/mJ0GoUzhhVtYKG2wiIhC_w600.jpg |
| 장비위치주소 | |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2016-12-235342 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-kitech_ncne-00009 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |