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PECVD(SLR730) 장비셋업

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보유기관명	광주과학기술원
보유기관코드
활용범위
활용상태
표준코드	C507
표준분류명
시설장비 설명	SLR-730 System은 PECVD장비로써 GaN기반 LED제작 과정에서 leakage current가 etching된 표면을 따라 흐르는 것을 막기 위한 passivation layer로 사용되는 절연물질로 SiO2와 Si3N4를 증착하는 것을 목적으로 하는 LED Chip 제조 과정에 사용되는 공정장비임. 또한 LED chip과 chip의 절연공정과 n-전극과 p-전극의 절열층으로 사용됨. 특히 최근 PECVD로 증착되는 SiO2와 Si3N4는 굴절율의 차이를 이용하여 광추출구조에 적용할 수 있으며 CBL (Current Block Layer) 물질로도 사용되고 있을만큼 LED Chip제작 공정 중 다양한 분야에 활용되는 절연막 증착에 사용되는 장비임.
장비이미지코드	http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201212/20121204105020.JPG
장비위치주소	광주과학기술원 신재생에너지연구소
NFEC 등록번호	NFEC-2012-12-172903
예약방법
카타로그 URL
메뉴얼 URL
원문 URL	http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-NTIS-0036032
첨부파일