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장비
장비 및 시설 기본정보
다목적 유무기나노코팅시스템
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | 에스엔텍 |
| 모델명 | 모델명 없음 |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2012-12-11 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 재료연구소 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C503 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | - 본 시스템은 금속 및 무기물 유기물을 나노미터 두께로 정밀 제어하면서 코팅할 수 있는 증착 설비 - 시스템 구성 * 프로세스 챔버 * 로드락 챔버 * 진공배기 설비 * 시스템 콘트롤 패널 및 파워 랙 |
| 장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201305/2013052413371790.JPG |
| 장비위치주소 | 재료연구소 연구3동 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2013-04-177554 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-NTIS-0036186 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |