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초저온 이송 시스템

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보유기관명	한국생산기술연구원
보유기관코드
활용범위
활용상태
표준코드	C305
표준분류명
시설장비 설명	SEM에서 생체나 수분을 함유한 다양한 시료를 보는 것은 아주 어려우며 이를 가능 하도록 지원하여 주는 장비가 CRYO Transfer system임. SEM과 동일한 방식의 Pre-Chamber를 SEM에 연결시켜 놓고 그 안에서 SEM으로 보기위한 샘플작업이 동시에 가능하도록 콤팩트한 디자인으로 제공함. 프리챔버에서 얼려진 샘플을 Airlock Transfer 장치로 pre-chamber에 장착을 시키면 자체에서 온도를 유지하도록 냉각 스테이지가 가동되며 원하는 부분을 보기위한 작업을 행함. Knife나 Pin을 통하여 Fracturing 작업을하고 Etching 및 Coating 작업을 완료하면 곧바로 SEM chamber에 Direct로 들어 갈수 있도록 되어 있어서 저온시편에 따른Contamination이 없고 쉽고 콤팩트하게 작업을 진행할 수 있음.
장비이미지코드	http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201212/20121223203758.jpg
장비위치주소	한국생산기술연구원 친환경청정기술센터 연구동
NFEC 등록번호	NFEC-2013-02-175121
예약방법
카타로그 URL
메뉴얼 URL
원문 URL	http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-kitech-00375
첨부파일