| 시설장비 설명 |
3 fully digital lock-in amplifiers Up to 10X faster topographical scanning and PhaseImaging in air 16-bit resolution on all three scanning axes OneScan imaging with more data points per scan line (≥ 16000) for the highest resolution Nine 500 kHz and two 50 MHz analog-to-digital converters 미세하게 제작된 프루브 팁을 표면에 접근시키면 접근 거리에 따라 프루브 팁과 기판 사이에 인력과 척력이 발생하게 됨 이러한 인력과 척력을 이용하면 기판의 표면형상 관찰이 가능함 인쇄전자소자 제조에 사용되는 잉크들은 대부분 성질이 다른 물질이 섞여 있는 복합재가 많은데 이 장비를 이용할 경우 프루브 팁의 뒤틀림 정도의 관찰을 통해서 얼마나 잘 혼합되어 있는지 직접적으로 알 수 있음 (물질의 성질이 달라질 경우 프루브 팁에 작용하는 마찰력이 달려져 프루브 팁의 뒤틀림이 달람짐) 프루브 팁에 전압을 가해주면서 표면의 형상을 관찰할 경우 표면의 전하 분포를 직접 관찰할 수 있음. R2R 복합 인쇄공정으로 제조된 패턴 및 소자의 형상 인쇄 품질을 평가 |
