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장비 및 시설 기본정보
스핀세척건조장치
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | 세미트로닉스 |
| 모델명 | SD2005S |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2012-12-20 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 한국전기연구원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C502 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | PFA(Per Fluoro Alkoxy) 재질의 캐리어(Carrier)에 1-25장의 기판을 담고 회전시키면서 초순수물을 노즐(Nozzle)을 통해 분사하여 오염물을 세정시킨 후 고속에서 고온의(약 100°C) 질소를 분사시키며 건조하는 장치이다. |
| 장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201301/스핀세척건조장치.jpg |
| 장비위치주소 | 한국전기연구원 안산분원 제1연구동 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2013-02-175499 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-NTIS-0036595 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |