| 시설장비 설명 |
RHEED는 증착되어지는 박막을 실시간 분석하기 위한 장비로, 기존에 완비 되어진 레이저 발생기와 증착이 이루어지는 PLD 시스템과 연계해서 사용하는 장비이며, PLD 시스템에 호완하여 설치를 해야 사용 할 수 있는 제품입니다. RHEED는 PLD에서 증착되는 산화물 박막의 성장 거동과 정확한 두께 제어를 할 수 있는 장비로 전자빔을 발생시키는 전자총에서 최대 30 KeV의 에너지로 전자를 증착 중인 시편에 입사 시킬 수 있다. 이렇게 시편에 입사한 전자빔은 회절을 통해 형광판에 패턴을 형성하게 된다. 형광판에 나타내어진 패턴은 CCD 카메라를 통해서 그 영상을 컴퓨터로 보내고 IMAQ(Image processing software)과 Lab view 프로그램을 사용해서 아날로그 신호를 디지털로 변화 시켜줌으로써 증착 후에 기본 정보 분석을 위해 고가의 분석 장비를 쓰지 않아도 되는 장점이 있으며 얻게 되는 디지털 신호 자체가 논문이나 특허에 자료로 바로 쓰일 수 있는 만큼 신뢰성을 받는 장비이다. 과제명:차세대산화물기반 전자소재개발 주관기관명:한국과학기술연구원 연구책임자:김진상 과제번호:2E22731(30101) 기관고유과제 |
