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장비
장비 및 시설 기본정보
고출력 엑시머 레이져
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | Coherent |
| 모델명 | COMPexPro 201F |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2012-01-30 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 대구경북과학기술원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C530 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | 고출력 엑시머 레이져를 이용한 박막 증착은 여러 디바이스 구현을 위한 박막 형성 공정에 적용이 가능하며 소재 개발 등에도 적용이 가능함. 따라서 여러 연구 분야에 적용이 가능한 박막 증착 연구 장비로 활용도가 매우 높음 |
| 장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201207/20120730151412.jpg |
| 장비위치주소 | 대구경북과학기술원 2연구동 809호 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2012-07-167990 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-NTIS-0034409 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |