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장비
장비 및 시설 기본정보
고성능 유무기 하이브리드 물질 제조 시스템
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | 우성하이백 |
| 모델명 | WGB1500S |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2012-07-26 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 한국원자력연구원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | B200 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | 1.하이브리드 물질은 수분과 산소에 민감하게 반응하므로 완벽에 가까운 하이브리드 물질 및 소자를 만들기 위해서는 수분과 산소를 최대한 제거하고 고진공 영역에서 제작 하여야 하므로 고진공상태에서의 열처리를 통하여 유무기 (금속 및 유기물) 물질의 코팅 및 블렌드하여 신규 하이브리드 물질의 제조 2.외적인 요인을 제거 할 수 있는 높은 진공도와 1 ppm 이하의 수분과 산소의 농도를 유지 할 수 있음. 3.각각의 유기물 금속 및 금속 산화물 및 하이브리드 물질의 동시 코팅이 가능하며 코팅 될 기판의 회전을 통하여 균일한 필름의 형성이 가능함. 4.제조 물질의 두께 및 코팅 속도의 조절을 통해서 원하는 비율의 복합물질 필름 제조가 가능함. 5.2 inch x 2 inch 크기의 기판까지 코팅이 가능하며 쉐도우 마스크를 이용하여 원하는 패턴의 필름 형성이 가능함. 6.하이브리드 물질의 코팅 후 산소가 없는 분위기에서 후처리(열처리)가 가능함. |
| 장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201208/20120806175708.JPG |
| 장비위치주소 | 한국원자력연구원 정읍방사선과학연구소 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2012-08-168258 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-NTIS-0034456 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |