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전계방출형주사전자현미경

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보유기관명	울산과학기술원
보유기관코드
활용범위
활용상태
표준코드	A206
표준분류명
시설장비 설명	전계방출 전자현미경은 전자총 부분의 Filament에 전원을 가하여 방출된 전자를 높은 전압으로 가속하여(10-30 kV) 집속렌즈로 모아서 시료 표면에 조사시킨다. 그러면 시료에서 여러 가지 신호가 방출되는데 그 중 2차 전자 신호를 검출하여 영상을 만드는 원리를 이용한다. 시료 표면을 관찰하는 기능 이외에도 여러 부속 장비를 장착하여 정성 정량 분석과 후방 산란 전자를 이용한 이미지 관찰도 가능하다. 이러한 SEM의 큰 특징은 시료 조작이 TEM에 비해 비교적 간단하고 금속 광물 반도체 등 생물시료를 제외한 거의 모든 재료 분석이 가능하다.
장비이미지코드	http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201209/20120926114233.jpg
장비위치주소	울산과학기술대학교 자연과학관
NFEC 등록번호	NFEC-2012-09-171085
예약방법
카타로그 URL
메뉴얼 URL
원문 URL	http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-NTIS-0035066
첨부파일