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필라멘트 빔 시스템

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보유기관명	기초과학연구원
보유기관코드
활용범위
활용상태
표준코드	A0
표준분류명
시설장비 설명	○ Filament Beam System은 필라멘트로부터의 열이온 방출에 의해 증착물질의 표면을때려 녹인다 고에너지와 고전류의 빔의방산은 온도상승을 일으키고 적절한 증기압에서 증착물질을 증발시킨다. 각종 금속(Au, Al, Ti, Cr등)과 유전체(SiO2)의 박막을 기판위에 증착할 수 있는 방법으로 다양한 용도에 응용이 가능하다. ○ 전용 e-beam sputtering 장비를 활용해 수행할 연구 분야는 다음과 같다. 1. 재단 처리된 기질을 통한 세포 패터닝: 인공 생체계면에 관한 연구는 공간상 조절과 함께 표면화학적 조성에 관한 정확한 조절이 필요함 2. 반점 야누스 입자 제조 및 배열: 화학적 조성이 조절된 화합물을 공간 선택적으로 야누스 입자에 흡착시킬 수 있어야 새로운 차원의 야누스 입자 배열을 가능케 함 3. 연성 과립 전기 장치: 전도성 네트워크를 형성하는 연성물질에 나노 전기 장치를 구축함
장비이미지코드	http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201606/20160621173428125.jpg
장비위치주소	울산과학기술원 첨단소재연구관 103동
NFEC 등록번호	NFEC-2016-06-210311
예약방법
카타로그 URL
메뉴얼 URL
원문 URL	http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-NTIS-0061402
첨부파일