전계방사형 주사전자현미경
기관명 | ZEUS |
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장비번호 | |
제작사 | Hitachi |
모델명 | S-4800 |
장비사양 | |
취득일자 | 2016-04-21 |
취득금액 |
보유기관명 | 한국전기연구원 |
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보유기관코드 | |
활용범위 | |
활용상태 | |
표준코드 | A206 |
표준분류명 | |
시설장비 설명 | 가속된 전자빔을 시료에 조사할 때 표면에서 발생되어 나오는 2차 전자, 후방산란 전자를 수집하여 그 신호들을 영상화시켜 미시영역 관찰이 가능하게 한 대표적인 표면 분석 장비. 뿐만 아니라, 시료는 특성 X-선을 방출하게 되는데, 이 특성X선의 에너지 값을 분류하여 시료의 화학조성에 대한 정성 및 정량분석 가능 |
장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201606/20160609181647689.jpg |
장비위치주소 | 한국전기연구원 제3연구동 |
NFEC 등록번호 | NFEC-2016-09-211716 |
예약방법 | |
카타로그 URL | |
메뉴얼 URL | |
원문 URL | http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-NTIS-0062080 |
첨부파일 |
과학기술표준분류 | |
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ICT 기술분류 | |
주제어 (키워드) |