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장비
장비 및 시설 기본정보
레이저인터페로미터 모션 캘리브레이션 시스템
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | Renishaw |
| 모델명 | XL-80 |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2013-11-19 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 한국기계연구원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | F201 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | 롤투피 인쇄 시스템에서 정밀 오버레이 달성을 위해서 스테이지의 이송 정도 확보가 필수적임. 스테이지의 이송 방향 운동 및 기생 방향의 운동을 정밀 계측하여 장비 보정의 Reference로 사용할 수 있는 Laser interferometer 기반 캘리브레이션 시스템. |
| 장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201401/20140121172017941.JPG |
| 장비위치주소 | 한국기계연구원 연구13동 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2014-05-187542 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-NTIS-0053618 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |