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장비
장비 및 시설 기본정보
소형 슬릿코팅 모듈용 프레임
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | 덕인 |
| 모델명 | 모델명 없음 |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2012-05-30 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 한국기계연구원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C209 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | 유무기 박막을 형성하기 위한 슬릿코팅 장비를 구성하기 위한 프레임 슬롯다이 코팅시 노즐 끝단과 기판 사이의 gap을 정밀하게 유지하면서도, 코팅 속도의 ripple을 최소화 할 수 있도록 정밀 제작됨 |
| 장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201401/2014012710463057.JPG |
| 장비위치주소 | 한국기계연구원 연구8동 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2014-01-185339 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-NTIS-0053619 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |