- HOME
- 홈페이지 이용안내
장비 및 시설 기본정보
대전류 이온주입장치
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | Varian |
| 모델명 | E1000 |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2007-12-21 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 한국전자통신연구원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C511 |
| 표준분류명 | 생산 |
| 시설장비 설명 | 특징 Batch type으로 한번에 18장의 wafer를 loading하여 high dose(1E16)까지 dopant를 주입할 수 있음. Model : E-1000 Maker : Varian |
| 장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201101/20110119160255.JPG |
| 장비위치주소 | 한국전자통신연구원 4동 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2008-01-055048 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-201812179753 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |