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장비 및 시설 기본정보
유기금속화학증착장치
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | 시스넥스 |
| 모델명 | MARVEL260S |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2011-03-17 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 울산과학기술원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C508 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | - 유기금속 precursor를 사용하여 성장 방향이 조절되고 우수한 결정 특성을 가진 질화물 반도체(GaN AlN InN 등) 성장 - 일차원 구조의 나노선 성장을 바탕으로 고출력 특성을 보이는 질화물 반도체 기반 nanogenerator 개발할수 있다. - 양산용으로도 사용이 가능하며 발광다이오드 전체 구조 제조 및 소자 개발에 응용이 된다. - 최대 2인치 기판 6장에 동시에 질화물 반도체를 성장시킬 수 있어 관련 연구의 대면적화 및 양산 관련 연구에 큰 도움이 됨. |
| 장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201209/20120927170645.jpg |
| 장비위치주소 | 울산과학기술대학교 자연과학관 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2013-02-174916 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-NTIS-0035149 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |