액체질소 주 냉각용기
기관명 | ZEUS |
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장비번호 | |
제작사 | Riber |
모델명 | Compact 21 |
장비사양 | |
취득일자 | 2008-12-09 |
취득금액 |
보유기관명 | 한국과학기술연구원 |
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보유기관코드 | |
활용범위 | |
활용상태 | |
표준코드 | C505 |
표준분류명 | |
시설장비 설명 | 과제명:이차원전자계 기반 스핀 FET소자기술 개발 주관기관명:한국과학기술연구원 연구책임자:한석희 과제번호:2E20470(3010101) / KIST 기관고유사업 특징 - 상기 장비는 일반 반도체 증착장비와 다르게 반도체를 원자 1츠의 두께로 제어가 가능하여 나노기술을 실현 가능케 하는 장비임 |
장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201109/20110901170355_170.jpg |
장비위치주소 | 한국과학기술연구원 청정연구동(L6) |
NFEC 등록번호 | NFEC-2008-12-070409 |
예약방법 | |
카타로그 URL | |
메뉴얼 URL | |
원문 URL | http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-NTIS-0054675 |
첨부파일 |
과학기술표준분류 | |
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ICT 기술분류 | |
주제어 (키워드) |