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장비 및 시설 기본정보
진공펌핑시스템
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | 코리아바큠테크(Korea Va |
| 모델명 | TURBOVAC |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2013-05-27 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 서울대학교 산학협력단 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C610 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | -. 이동시편크기 : 조각시편부터 4 인치 -. 로드락챔버와 시편이송장치 -. 진공도달능력 : 2 x 10E-7 torr @ 1시간이내 -. 장비제어방식 : 인간친화적그래픽구현 PLC 터치패널(자동) -. 장비안전 : 진공냉각수압축공기와 시스템 간 안전 연동 방식장비 구성 · 로드락챔버와 시편이송장치 · 진공펌핑장치 · 진공측정계 · 프레임과 운용제어장치 - 장비 기능 · 증착챔버와 연결하여 시편을 증착챔버 내에 반입 반출시키는 로드락챔버(이송준비챔버)의 진공을 고진공까지 빠르게 도달시켜 줌으로써 주 증착챔버의 진공을 파기하지 않고 연속적인 작업을 할 수 있도록 한다.스퍼터링 장비의 진공 유지에 사용되는 대용량 터보 펌핑 시스템으로 펌프와 압력 게이지 로드락 챔버 등으로 구성되어 있어 스퍼터링을 위한 저진공 달성 및 유지에 이용된다. 또한 스퍼터링 장비의 메인 챔버의 진공을 유지한 채 시편을 이동하기 위해 사용된다. |
| 장비이미지코드 | http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/201306/.thumb/2013061017239435.jpg |
| 장비위치주소 | 서울 관악구 대학동 서울대학교 산 56-1 서울대학교 311동 (화학공정신기술연구소) 2층 202호 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2013-06-179848 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0039658 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |