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장비 및 시설 기본정보
투명 전도산화막 증착 장비
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | 대동하이텍 |
| 모델명 | DDHT-4DSHL |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2011-12-16 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 한국과학기술원 전기및전자공학과 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C506 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | 본 투명전도막 증착 장치는 산화인듐 아연 (IZO) 등의 투명 전도성 산화막을 RF Sputtering 방식으로 증착하는 장치로서 Building-Integrated PV (BIPV), 스마트 윈도우, 투명 전자기기, 유기/무기 광소자 등을 제작함에 있어 그 활용성이 다양하기에 투명 전극이 필요한 다양한 연구 분야에서 본 장비 활용이 가능하리라 봄. |
| 장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201407/201407081719755.bmp |
| 장비위치주소 | 한국과학기술원 KI빌딩 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2014-07-189926 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-KAIST_EE-00006 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |