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장비 및 시설 기본정보
금속나노박막 증착장비
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | 에스엔텍 |
| 모델명 | VTSR-5006 |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2015-10-07 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 재료연구소 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C200 |
| 표준분류명 | 분석 |
| 시설장비 설명 | 본 장비 금속 나노박막 증착장비는 금속 나노물질 증착을 위한 설비이다. 장비는 메인 프로세스 챔버와 로드락 챔버, 진공배기부 및 제어부로 이루어진다. 증착방식은 열증착(Thermal Evaporation)법과 서퍼터링(Sputtering)법을 각각 독립적으로 사용할 수 있도록 소스를 구성한다. |
| 장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201712/20160822172217_20151013000000194834 NFEC-2015-10-205644.jpg |
| 장비위치주소 | 재료연구소 연구3동 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2015-10-205644 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-202005292212 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |