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장비 및 시설 기본정보
PLD 시스템
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | 다다코리아 |
| 모델명 | 모델명 없음 |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2012-07-17 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 재료연구소 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C506 |
| 표준분류명 | 시험 |
| 시설장비 설명 | 세라믹 타겟을 이용한 복잡조성의 세라믹 박막을 성장시키기 위한 장비로써 248nm의 파장을 갖는 KrF Excimer laser를 이용하여 진공챔버 내에서 laser plasma를 발생 적절한 기판에 고품위의 박막을 증착시키는 장치임. |
| 장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201504/2015041318836150.JPG |
| 장비위치주소 | 재료연구소 연구1동 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2012-07-167826 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-202006045314 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |