| 시설장비 설명 |
- 가속전압 : 20~200KV - Emission Tip : Schottky field emmitter - 전압안정도 : 1 ppm/min - Auto beaam alignment setting - 분해능 : point 0.24nm, line 0.10nm - Objective Lens : focal length 1.7nm, OL apperture 8(10,20,30,40,50,60,80,100mircon), 구면수차 1.2nm, 색수차 1.2nm, 전류안정도 <1% - Condensor Lens : C1 appertures 4 (30,50,70,2000micron), C2 appertures 4(50,70,100,150micron), beam tilt angle 100mrad, 최소 probe dia. <0.3nm - SADP : SAD 관찰범위 30~4500mm, Diffraction관찰각도 13도 - 배율 : 25~1030배 - EDS port : sold angle 0.13 str, Take-off각도 20도 - 진공펌프 : TMP |
