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장비 및 시설 기본정보
박막 두께 측정기
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | 엘립소테크놀러지 |
| 모델명 | Elli-SE-UaM8 |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2014-12-10 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 울산과학기술원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | A408 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | Spectroscopic Ellipsometer는 반도체, FPD, LED, Solar Cell등의 부품소재에 사용되는 박막의 굴절 율을 측정하기 위한 장비로서 광학적인 방법으로 측정할 수 있는 Sub Å ~ 수 ㎛ 두께 범위의 단층 및 다층 박막의 두께, 굴절 율을 측정하는 장비이다. |
| 장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201412/2014123092623407.jpg |
| 장비위치주소 | 울산과학기술대학교 자연과학관 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2014-12-195188 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-NTIS-0047584 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |