- HOME
- 홈페이지 이용안내
장비 및 시설 기본정보
에어로졸 증착 시스템
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | ㈜정민실업 |
| 모델명 | 모델명 없음 |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2013-05-29 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 한국생산기술연구원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C518 |
| 표준분류명 | 생산 |
| 시설장비 설명 | 에어로졸 증착 시스템으로 상온 고속 증착 및 대면적 프로세싱의 특징을 가지고 있으며 고진공 고압분사 미세파우더(<500nm) 프로세싱을 증착속도 10㎛/hr 이상 막 균일도 1%이내로 수행할 수 있음 |
| 장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201310/2013101017442325.JPG |
| 장비위치주소 | 한국생산기술연구원 시흥뿌리기술지원센터, 공장동 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2013-10-183315 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-kitech-00316 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |