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도금장치

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보유기관명	한국과학기술연구원 마이크로나노팹센터
보유기관코드
활용범위
활용상태
표준코드	C525
표준분류명	분석
시설장비 설명	과제명:혼합냉매 특성 측정 및 해석기술개발 주관기관명:한국과학기술연구원 연구책임자:김영일 과제번호:2N15690 특징 정밀 디지털 정류기는 전류 제어 방식에 의해 정밀 도금을 할 수 있도록 되어 있습니다. 제어 부는 공정의 설정 및 진행을 PC를 이용하여 Windows 환경하에서 사용하도록 되어있습니다.2종류의 Workholder는 연구용도에 맞도록 선택하여 사용할 수 있으며 2"~12"의 사각 형태 Substrate 및 4" Wafer상에 정밀 도금 작업을 수행 할 수 있도록 제작되어 있습니다. 구성 및 성능 MEMS/NANO 공정에서 주요 공정 중의 하나인 도금 공정 기술을 이용하여 초정밀 소형 제품을 제조할 수 있는 정밀 도금 장비로 1개의 독립된 Cell 정류기 2종료 Workholder 및 제어부로 구성되어 있다.
장비이미지코드	https://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201310/20131024211437634.JPG
장비위치주소	한국과학기술연구원 청정연구동(L6)
NFEC 등록번호	NFEC-2006-03-028919
예약방법
카타로그 URL
메뉴얼 URL
원문 URL	https://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-KIST_Fab-00009
첨부파일

기업조회