| 보유기관명 |
경남대학교 |
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| 시설장비 설명 |
뾰족한 프로브와 시편간의 원자간력 또는 터널링 현상을 이용하여 물질의 표면을 원자 단위까지 관찰할 수 있는 제 3세대현미경이다. 총 7가지 의 모듈이 사용되어 표면의 삼차원 형상 뿐 아니라 시편 내에 존재하는 여러 가지 다른 상을 전자적 열적 성질 등의 차이를 이용하여 100㎚급 박 막에 대한 콘트라스트로 관찰할 수 있으며 특히 하이지트론 트리보스코프 시스템을 이용한 나노스케일의 경도 탄성계수 부착력 등 기계적 특성 측정할 수 있다. 시편을 대기 중 뿐 만 아니라 액체 내에서도 관찰할 수 있는 특성을 가지고 있다.◆7가지 모듈-Triboscope(트리보스코프; 100㎚급 또는 그 이상의 두께를 갖는 박막 등 시 편 표면을 마이크로 뉴톤의 힘으로 나노압입함으로써 나노스케일의 경도 탄성계수 부착력 등 기계적 특성 측정-AFM(원자간력현미경; 시편의 표면 삼차원 형상을 관찰하고 옹스트롬 단위 거칠기 등을 측정한다.) - STM(주사터널링현미경; 도전체 시편 표면의 삼차원 형상을 원자 단위까지 관찰- MFM(자기력현미경; 자성체 시편 표면에서 자기력 선 방향의 차이를 갖는 자 기 도메인 관찰)- SThM(주사열현미경; 고분자 등 시편표면의 열전도도 차이를 갖는 상 관찰)- PFM(펄스력현미경; 시 편 표면의 강성(Stiffness) 차이를 갖는 상 관찰) - LFM(측면력현미경; 시편 표면의 마찰력 차이를 갖는 상 관찰) ◆주요성능 ▶탐침 프로브 스케너 : 90마이크론 5마이크론 두 가지 사용 ▶분해능 : 수평 방향(0.0013Å) 수직방향(0.009Å) ▶트리보스코프 -Force range: 1μN to 10mN with 100nN sensitivity -Displacement range: 5μm full scale with 0.2nm sensitivity -Drift 5 minutes after setup: 50nN/min 0.5nm/min -Drift 1 hour after setup: 20 nN/min 0.2nm/min -프로브 종류: 다이아몬드제 큐브코너형: 90°각도 베르코비치형: 142.3°각도 원뿔형 : <1㎛ 팁 반경 90°각도 비커스형 :136°각도100㎚급 또는 그 이상의 두께를 갖는 박막 등 시편 표면을 마이크로뉴톤의 힘으로 나노압입함으로써 나노스케일의 경도 탄성계수 부착력 등 기계 적 특성 측정박막 시편의 표면 삼차원 형상을 관찰하고 옹스트롬 단위의 거칠기 등을 측정도전체 시편 표면의 삼차원 형상을 원자단위까지 관찰 자성 박막시편 표면에서 자기력선 방향의 차이를 갖는 자기 도메인 관찰 고분자 박막 등 시편 표면의 열전도도 차이를 갖는 상 관찰시편 표면의 강성(Stiffness) 차이를 갖는 상 관찰 |
| 장비이미지코드 |
http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/201308/.thumb/20130829135749553.jpg |
| 장비위치주소 |
경남 창원시 마산합포구 월영동 경남대학교 449번지 경남대학교 제4공학관 1층 전자현미경실 |
| NFEC 등록번호 |
NFEC-2003-07-041075 |
| 예약방법 |
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| 카타로그 URL |
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| 메뉴얼 URL |
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| 원문 URL |
http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0006500 |
| 첨부파일 |
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