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장비 및 시설 기본정보
비접촉3차원미세형상측정기
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | 나노시스템 |
| 모델명 | NV-2000 |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2010-08-17 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 전북대학교 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | F201 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | 비접촉식으로 나노미터 사이즈의 3차원 표면형상을 광학적으로 고정도 고속으로 측정이 가능한 장비이다. 접촉식 측정에 비해 넓은 측정영역과 빠른 측정속도의 구현이 가능하며 비접촉 방식으로서 측정물의 손상이 없이 미세표면에 3차원형상의 높이단차표면거칠기부피등의 측정 데이터를 얻을 수 있다. 이에 반도체디스플레이 정밀기계가공 및 정밀부품등의 미세형상 및 거칠기 측정에 이용할 수 있다.1. 측정방식 및 범위 ① 측정방식 비접촉 방식을 이용하여 측정시료의 2차원 표면관찰과 3차원 형상측정이 모두 가능한 방식 ② 측정범위 - 깊 이 : 최대 270㎛ 까지 - 면 적 : 1.28 mm ~ 0.096 mm정합기능에 의한 넓은 면적측정가능 - 측정속도 : 2.4㎛/sec ~7.2㎛/sec - 측정높이 분해능 및 반복정밀도 - 분 해 능 : 0.1㎚ - 렌즈 선택에 관계없이 85% at 5Hz of Resonance Horizontal : >86% at 5Hz of Resonance ⑦ 전 원 : 220V 60Hz 단상 Electrical Safety Valve for Rotary Venting : 1 EA 3.영상처리 및 분석장치 ① CPU : Intel Pentium Core 2 Duo 2GB RAM or higher ② Graphic : Geforce7300 256MB ③ HDD : 250GB Serial ATA Hard Drive 7200rpm ④ ODD : CD;RW/DVD Combo Drive ⑤ O/S : Windows XP Pro. ⑥ Monitor : 19” Color LCD Monitor with 1280 x 1024 resolutionnull |
| 장비이미지코드 | http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/201111/.thumb/20111129095344.jpg |
| 장비위치주소 | 전북 전주시 덕진구 덕진동1가 전북대학교 664-14 전북대학교 공과대학8호관 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2011-11-151676 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0030474 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |