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진공 챔버 프로버

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보유기관명	한국과학기술연구원
보유기관코드
활용범위
활용상태
표준코드	C600
표준분류명	계측
시설장비 설명	본 장비는 낮은 대기 압력 상태에서 샘플의 전기적 응답을 측정할 수 있다. 현미경을 활용하여 4개의 얇은 금속 바늘을 마이크로미터 스케일의 작은 샘플에도 정밀하게 접촉할 수 있다. 금속 바늘을 통해 샘플에 전류 또는 전압을 가할 수 있고, 여기에서 비롯된 샘플의 전기적 반응을 측정할 수 있다. 샘플의 온도에 따른 전기적 특성을 측정하기 위하여, sample stage의 온도를 최대 300 degree Celsius까지 조절할 수 있다. 또한 샘플의 온도를 측정하기 위해 thermocouple의 feedthru를 챔버에 마련하였으며, 적외선 열화상 촬영이 가능하도록 2개의 적외선 투과 viewport를 갖추었다.
장비이미지코드	http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201402/20140224164028144.JPG
장비위치주소	한국과학기술연구원 청정연구동(L6)
NFEC 등록번호	NFEC-2014-02-185993
예약방법
카타로그 URL
메뉴얼 URL
원문 URL	http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-NTIS-0054828
첨부파일

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