| 보유기관명 |
주성엔지니어링(주) |
| 보유기관코드 |
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| 활용범위 |
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| 활용상태 |
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| 표준코드 |
C300 |
| 표준분류명 |
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| 시설장비 설명 |
현재 3.5G flexible solar cell 장비는 PECVD SPUTTER MOCVD 장비에서 박막을 증착하고 있으며 각 장비에는 공정가스가 가스 캐비넷과 연결되어 있다. 3.5G flexible solar cell 공정에서 사용하고 있는 가스는 NF3 B2H6 PH3 GeH4 CH4 SiH4 H2 Ar이며 PECVD 장비에서는 공정가스로 B2H6 PH3 GeH4 CH4 SiH4 H2가 사용되며 NF3는 chamber 및 tray cleaning시 사용되고
SPUTTER 장비에서는 Ar MOCVD 장비에서는 DEZ와 H2O의 carrier 가스로 Ar이 사용되고 B2H6이 도핑가스로 사용되고 있다. NF3 B2H6 PH3 GeH4 SiH4와 같은 독성 폭발성 산화성 가스는 door가 있는 Gas cabinet 내에 보관하고 있으며 모든 공정가스는 각 가스캐비넷에 부착되어 있는 모니터로 Display되어 control이 가능하며 Gas leak시 감지 할 수 있는 센서가 장착되어 있어 긴급상환시 auto shutter로 가스 붐베가 close상태가 된다. He라인이 장비와는 독립적으로 가스 캐비넷과 연결되어 있어 Gas leak 체크가 가능하다.
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| 장비이미지코드 |
http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/201102/.thumb/20110215162306.JPG |
| 장비위치주소 |
경기 광주시 오포읍능평리 49번지 주성엔지니어링 J3동 |
| NFEC 등록번호 |
NFEC-2011-02-141593 |
| 예약방법 |
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| 카타로그 URL |
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| 메뉴얼 URL |
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| 원문 URL |
http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0026923 |
| 첨부파일 |
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