다용도 글로브 박스 및 진공 증착 시스템
기관명 | ZEUS |
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장비번호 | |
제작사 | 우성하이백 |
모델명 | Woosung-Multi Glove box |
장비사양 | |
취득일자 | 2007-12-21 |
취득금액 |
보유기관명 | 광주과학기술원 |
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보유기관코드 | |
활용범위 | |
활용상태 | |
표준코드 | C604 |
표준분류명 | |
시설장비 설명 | 특징 본 장비는 최근 많은 각광 받고 있는 신소재인 유기물 반도체 물질을 이용해서 유기물 전자소자나 광전자소자를 제작하고 이에 대한 특성을 평가하여 장비이다. 그런데 이러한 유기물들은 산소와 수분에 매우 민감하게 반응하여 쉽게 변질되고 소자제작 시 산소와 수분에 의해 소자의 성능이 저하되는 치명적인 약점을 가지고 있다. 따라서 이러한 약점을 극복하고 성공적인 연구를 수행하기 위해서는 소자제작과정에서 산소와 수분을 제거해야 하며 이러기 위해서는 산소배제 상태를 만들어 주는 글로브 박스가 필요하다. 본 장비는 유기물 반도체를 이용한 소자의 제작 및 성능 평가를 수분을 제거한 분위기에서 가능하도록 특성평가용 글로브 박스 시스템과 글로브 박스 시스템 내부에 증착기를 설치하여 소자의 전극을 증착한 후 산소 배제 분위기에서 성능 평가가 가능하도록 설계가 되었다. |
장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201111/20111104104127.jpg |
장비위치주소 | 광주과학기술원 신재생에너지연구소 |
NFEC 등록번호 | NFEC-2008-07-079462 |
예약방법 | |
카타로그 URL | |
메뉴얼 URL | |
원문 URL | http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-NTIS-0009140 |
첨부파일 |
과학기술표준분류 | |
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ICT 기술분류 | |
주제어 (키워드) |