| 보유기관명 |
한국과학기술연구원 |
| 보유기관코드 |
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| 활용범위 |
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| 활용상태 |
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| 표준코드 |
A200 |
| 표준분류명 |
시험 |
| 시설장비 설명 |
특징 나노소자 제작공정 및 분석에 필수 장비 물질 표면에 전자 빔을 주사함으로써 표면으로부터의 반사 전자나 2차 전자에 의해서 물질 표면의 형상이나 구성을 관찰하는 장치를 이른다. * 보통 통과형 전자현미경(TEM)과는 달리 두꺼운 시료 표면을 미세한 전자 빔으로 주사하는 것이므로 분해능은 방출 2차 전자 의 영향으로 투과형보다 떨어진다. 시료를 조사한 전자선에 의하여 발생하는 특성 X선 전자선 발광(cathode luminescence) 오제 전자나 투과 전자의 에너지 손실 등에서 시료 중의 원소와 물질을 분석할 수 있다. 주사전자현미경에서는 주로 시료 표면의 정보를 얻을 수 있고 시료의 두께 크기 및 준비에 크게 제한을 받지 않는다. 주사전자현미경은 광학현미경에 비해 집점심도가 2배 이상 깊고 또한 광범위하게 집점을 맞출 수 있어 입체적인 상을 얻는 것이 가능하다. 전자현미경에서는 고에너지를 갖는 전자선이 전자 렌즈계를 거쳐 시료를 통과하여 형광판에 상을 맺게 한다. 따라서 그 시료는 관찰에 사용될 수 있도록 극히 얇아야 된다. 투과 전자현미경으로는 시료의 밀도 두께 등의 차이에 의한 명암(phase contrast) 상을 얻을 수 있다. 또한 시료에 도달하는 전자선을 회절시켜 회절상을 얻을 수 있으므로 원소내부의 정보도 얻을 수 있다. 투과형 전자현미경의 경우 주사형 전자현미경에 비해 그 구조가 복잡하고 운용이 쉽지 않은 점 가격이 비싼 점 등의 단점을 가지고 있다. 응용에 있어서 투과전자현미경은 금속 세라믹 반도체 고분자 합성체 등의 재료분야 의학 등의 생체시료 조직 관찰에 주로 사용되고 있으며 주사전자현미경은 광학 현미경의 영역에 포함되며 분석장비를 추가하여 분석장비로서의 영역도 확보해 나가고 있다. |
| 장비이미지코드 |
http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201712/20160921102104_20080818000000041205 NFEC-2008-08-062630.jpg |
| 장비위치주소 |
한국과학기술연구원 연구동(L0) |
| NFEC 등록번호 |
NFEC-2008-08-062630 |
| 예약방법 |
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| 카타로그 URL |
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| 메뉴얼 URL |
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| 원문 URL |
http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-NTIS-0009192 |
| 첨부파일 |
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