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장비 및 시설 기본정보
이온 밀링 장비
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | Gatan |
| 모델명 | 695c |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2014-08-04 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 한국생산기술연구원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C102 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | 양쪽 건에서 이온이 나와 시료표면에 조사되는 형태로 천공이 되는 원리이다. LN2 cooling 및 온도 조절이 가능하여 이온밀링 할 때 시료에 가해지는 손상을 최소화 하는것이 특징이다. |
| 장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201412/20141224173558933.JPG |
| 장비위치주소 | 한국생산기술연구원 연구2동 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2014-12-195109 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-NTIS-0047880 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |