보유기관명 |
울산대학교 |
보유기관코드 |
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활용범위 |
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활용상태 |
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표준코드 |
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표준분류명 |
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시설장비 설명 |
1.광위상 간섭 방식과 백색광간섭법을 이용 2.표면조도 3차원 형상 단차 및 2차원 치수 측정1.측정기 본체: Probe 부/ stage 부/ 방진부 2.컨트럴부: 광원 /PZT Controller 3.제어/운영부: PC /Software/ 장착 Board 4.형상 측정시 정밀도가 Nanometer(10-9m)까지 가능1.연삭 가공후 표면조도 측정 2.방전/전해 가공추 표면 형상 측정 3.실리콘에 박막 코팅 후 두께 (단차)측정 |
장비이미지코드 |
http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/200702/.thumb/200702055700.jpg |
장비위치주소 |
울산 남구 무거동 울산대학교 산29번지 울산대학교 울산대학교 기계항공관 1층 108-1 |
NFEC 등록번호 |
NFEC-1999-07-024936 |
예약방법 |
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카타로그 URL |
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메뉴얼 URL |
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원문 URL |
http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0004692 |
첨부파일 |
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