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장비 및 시설 기본정보
증착시스템
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | 에스엔텍 |
| 모델명 | REP-5004 |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2011-04-19 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 영남대학교 산학협력단 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C508 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | 장비설명(기능) ㆍDescription Thermal E-beam Evaporator System(증착시스템) - 모델 : REP-5004 - 수량 : 1EA - 단가 : 120000000원Subtarte Size : ~8inch - Deposition Direction : Upward - E-Beam Sorce : 3kw ~ 15kw - Film Thickness Uniformity : ≤±4% - Heating Uniformity : ≤±3% - Full Automation ControlCu Al Ni Ag MgF2 SnO2 ITO 증착 - 배선공정에서의 Cu와 diffusion barrier의 adhesion test - 태양전지 grid test - Thermal Evaporator 가능 - Electron beam을 이용하여 증착 - 증착물질의 선택 및 수 nm단위로 박막의 증착 증착된 막의 두께 조절가능 - pure한 물질의 증착가능 |
| 장비이미지코드 | http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/201510/.thumb/20151006142942318.jpg |
| 장비위치주소 | 경상북도 경산시 대학로 280 (대동) 영남대학교 생산기술연구원 1층 연료전지분석실 Ⅰ (106호) |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2012-11-171976 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0035778 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |