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장비 및 시설 기본정보
수동 스핀 코터
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | 금창화학기계 |
| 모델명 | 모델명 없음 |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2012-11-09 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 나노종합기술원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | B105 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | 포토 공정시 PR을 스핀 코팅하는 장비 MEMS 공정에 원하는 모양으로 웨이퍼를 가공하기 위해 감광제를 도포하여 사용 하는 데 이때 사용 되는 장비가 스핀 코터이다. MEMS공정의 경우 점도가 넣은 Thick PR을 많이 사용하기 때문에 Track을 이용한 공정은 한계가 있다. 따라서 Manual로 사용이 가능한 스핀 코터가 필요하다. |
| 장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201305/20130502151135578.png |
| 장비위치주소 | 카이스트 부설 나노종합기술원 나노종합기술원 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2013-05-178688 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-NTIS-0040268 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |