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장비 및 시설 기본정보
전계방출 주사전자현미경
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | Fei |
| 모델명 | Nova Nano SEM 450 |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2013-02-26 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 한국과학기술연구원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | A206 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | 전자총에서 발생시킨 전자빔을 집속시켜 시료에 주사하여 방출되는 전자를 검출함으로써 시료의 표면 구조를 관측하는 전자현미경임. 전계 방출형의 전자총을 이용하여 일반 광학 현미경으로는 관측이 불가능한 물질의 미세영역을 고분해 고배율로 확대하여 표면구조 및 형태를 확인하는 용도임. 전자빔을 방출 집속하는 전자 광학계와 신호 및 정보 검출을 위한 각종 검출장치로 이루어져 있음. * Electron beam resolution High vacuum imaging - 1 nm at 15 kV (SE) - 1.4 nm at 1 kV (SE) - 3.5 nm at 100 V (DBS) Low vacuum imaging - 1.4 nm at 10 kV (Helix) - 1.8 nm at 3 kV (Helix) * Probe current: 0.6 pA - 200 nA * Beam landing energy: 50 eV - 30 keV |
| 장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201305/20130527114238114.jpg |
| 장비위치주소 | 한국과학기술연구원 전북분원 연구동 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2013-05-179311 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-NTIS-0039165 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |