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적외선 분광기

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보유기관명	포항공과대학교
보유기관코드
활용범위
활용상태
표준코드	B502
표준분류명
시설장비 설명	특징 시료에 적외선을 조사하여 반대편 Detector에서 흡수 및 투과되는 IR 파장을 검출하여 시료내의 구성 성분들간의 고유 분자간 결합력을 분석함으로서 시료의 구성성분 및 양을 측정할 수 있는 분석장비임.구성및성능 a) Source부: IR을 발생시켜 Aperture를 통해 IR을 방사시킴. b) Interferometer부: 방사된 IR Spetral Encoding 시킴. c) Sample부: Sample이 Loading & Unloading됨. d) Detector 부: Sample이 통과한 IR 검출. e) Computer 부: 측정된 신호를 받아 Fuurier 변환하여 측정결과 표시.활용분야 반도체 제조공정 중 Silicon 내의 Carbon & Oxygen 농도 측정 산화막 내의 Boron & Phosphorus 농도 측정 질화막 내의 Hydrogen 농도 측정 Si Epi 두께 측정 등에 사용
장비이미지코드	http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/200908/.thumb/20090826132741.jpg
장비위치주소	경상북도 포항시 남구 청암로 77 (지곡동) 포항공과대학교 나노기술집적센터
NFEC 등록번호	NFEC-2009-08-072320
예약방법
카타로그 URL
메뉴얼 URL
원문 URL	http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0013365
첨부파일

기업조회